Patent Name:一种环糊精衍生物型光敏树脂及其制备方法、基于其的抗蚀剂组合物和应用
Patent Number:CN201810355045.9
Place of Registration:中国
Type:机械
Class:机械
Contacts:裘晖
Contact Information:020-22237111
Patent Profile:本发明属于高分子材料技术领域,公开了一种环糊精衍生物型光敏树脂及其制备方法、基于其的抗蚀剂组合物和在微电子领域中的应用。本发明环糊精衍生物型光敏树脂由包括巯基环糊精衍生物、含酸敏基团的烯类化合物、含极性基团的烯类化合物混合反应得到。本发明环糊精衍生物型光敏树脂可应用于微电子领域中。本发明还提供一种基于上述环糊精衍生物型光敏树脂的抗蚀剂组合物。本发明通过把含酸敏基团的烯类化合物和含极性基团的烯类化合物与巯基环糊精衍生物反应,制备性能可调、成膜性能优异、分子量分布窄、分辨率高的新型分子玻璃体抗蚀剂,有效地解决了现有分子玻璃体型抗蚀剂保护基团单一、基底黏附性能不佳、收缩率大、容易开裂的问题。